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J-GLOBAL ID：200903060034316595

アルミニウム板、その製造方法及び該アルミニウム板を用いた防着カバー

Inventor： 周藤 賢治 ,  阿部 栄
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社 ,  株式会社日本電気化学工業所
Agent (1)： 井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993323624
Publication number (International publication number)：1995180091
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】【構成】 アルミニウム又はアルミニウム合金からなる母材の表面に封孔処理された水和物からなる酸化被膜を有し、該酸化被膜の厚さが10〜150μmで、該酸化被膜における母材以外の金属不純物の含有量が1ppb以下であるアルミニウム板。【効果】 酸化被膜は開孔気孔を殆ど有さず、化学的に安定であるため耐食性に優れ、高熱の環境等にさらされても金属等の周囲への拡散を防止することができる。従って、プラズマ処理装置の防着カバー等に好適に用いることができる。

Claim (excerpt)：

アルミニウム又はアルミニウム合金からなる母材の表面に封孔処理された水和物からなる酸化被膜を有し、該酸化被膜の厚さが10〜150μmで、該酸化被膜における母材以外の金属不純物の含有量が1ppb以下であることを特徴とするアルミニウム板。

IPC (3)：

C25D 11/18 301 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• アルミニウムの陽極酸化被膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-179700   Applicant：東京エレクトロン株式会社