画像形成材及びそれを用いた画像形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003366049
Publication number (International publication number)：2005128412
Application date： Oct. 27, 2003
Publication date： May. 19, 2005
Summary：

【課題】本発明の画像形成材により、高圧水銀灯類及び波長390〜430nmの光源を用いた露光方法の両方に適した画像形成材料を提供する。【解決手段】被加工基板上に少なくとも感光性樹脂組成物層を有する画像形成材であって、下記の(1)〜(4)を満たすことを特徴とする画像形成材 (1)高圧水銀灯類及び波長390〜430nmの光源のいずれを用いた露光方法によっても画像形成が可能であること (2)高圧水銀灯類を用いた露光方法における感度S[UV]が、2〜200mJ/cm2であること (3)波長390〜430nmの光源を用いた露光方法における感度S[Violet]が、2〜30mJ /cm2であること (4)S[Violet]/S[UV]が、1以下であること、及び/又は、アスペクト比1.1以上の解像性を有すること。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

被加工基板上に少なくとも感光性樹脂組成物層を有する画像形成材であって、下記の(1)〜(4)を満たすことを特徴とする画像形成材 (1)高圧水銀灯類及び波長390〜430nmの光源のいずれを用いた露光方法によっても

IPC (3)：

G03F7/26 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (4)：

G03F7/26 501 , G03F7/004 503Z , G03F7/004 512 , H01L21/30 502R

F-Term (34)：

2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CA14 , 2H025CA28 , 2H025CA39 , 2H025CA41 , 2H025CA48 , 2H025CA50 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H096AA25 , 2H096AA26 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096EA04 , 2H096GA08 , 2H096LA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

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Cited by examiner (3)

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