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J-GLOBAL ID：200903060468575351

光電変換装置用基板およびこれを用いた光電変換装置

Inventor： 藤沢 章 ,  平田 昌宏 ,  清原 康一郎
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000080957
Publication number (International publication number)：2001036107
Application date： Mar. 22, 2000
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 光電変換装置の光電変換層の薄膜化に伴い、導電膜の光透過性能などの改善が求められている。【解決手段】 ガラス板35上に、適宜下地層31,32を形成し、酸化錫を主成分とする導電膜33を成膜する。導電膜は、例えば590°C以上のガラスリボン上におけるCVD法により成膜され、膜中の塩素濃度は0.11重量%以下であってフッ素濃度は塩素濃度以上である。ガラス板が厚さ5mmのソーダライムシリカガラス板であるときに、波長550nmにおける光線透過率は79%以上であり同波長におけるヘイズ率は4%以上である。導電膜33上に光電変換ユニット37を積層し、さらに裏面電極39を形成した光電変換装置とする。

Claim (excerpt)：

ガラス板と、前記ガラス板上に形成した酸化錫を主成分とする導電膜とを含み、前記導電膜中の塩素濃度が0.11重量%以下であり、前記導電膜中のフッ素濃度が前記塩素濃度以上であることを特徴とする光電変換装置用基板。

F-Term (9)：

5F051AA05 ,  5F051CB27 ,  5F051DA04 ,  5F051FA03 ,  5F051FA08 ,  5F051FA22 ,  5F051FA24 ,  5F051GA03 ,  5F051GA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-181473
  
• 特開平2-181473
  
• 複層ガラス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-305306   Applicant：日本板硝子株式会社
• 特開平4-154647