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J-GLOBAL ID：200903060521518209

スピンコーティング用組成物

Inventor： 山本 昌樹 ,  遠田 淳 ,  鳥海 傑
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994162248
Publication number (International publication number)：1996027421
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Jan. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 特性の優れたスピンコーティング用組成物を得る。【構成】 A.テトラアルコキシシランおよび/またはその部分加水分解物、B.沸点が110°C以上170°C以下の有機溶媒、C.水、及びD.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

Claim (excerpt)：

A.テトラアルコキシシランおよび/またはその部分加水分解物、B.沸点が110°C以上170°C以下の有機溶媒、C.水、及びD.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

IPC (6)：

C09D183/02 PMN ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/24 302 ,  C08G 77/02 NTZ ,  G11B 7/24 537 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• スピンコーティング用組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-007732   Applicant：三菱化学株式会社
• シリカ被膜形成塗布液用組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-047056   Applicant：三菱化学株式会社