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J-GLOBAL ID：200903060624107711

3次元形状測定装置

Inventor：
上原靖弘

About 上原靖弘

, 
江田幸夫

About 江田幸夫


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999119993
Publication number (International publication number)：2000310518
Application date： Apr. 27, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】 試料の3次元形状を高精度で高速に測定することを可能にする。【解決手段】 コヒーレンスの低い照明光を発生させる光源1と、照明光を参照面11に入射する参照光束と試料7に入射する測定用光束とに分割する光束分割手段6と、照明光を試料に集光させる照明光学系5と、参照光束と測定用光束とを合成する光束合成手段6と、試料7を照明光学系の光軸に対して垂直な方向に移動させる手段と、試料7の照明光学系の光軸に対して垂直な面内での位置を検出する手段と、参照光束と測定用光束の光路長差を検出する手段と、光検出手段14と、光検出手段で検出した信号を演算する信号演算手段15とを有し、試料7が照明光学系5の光軸に対して垂直な方向に移動している状態で、光検出手段14により信号を検出する3次元形状測定装置。
Claim (excerpt)：
コヒーレンスの低い照明光を発生させる光源と、照明光を参照面に入射する参照光束と試料に入射する測定用光束とに分割する光束分割手段と、測定用光束を試料に集光させる照明光学系と、参照光束と測定用光束とを合成する光束合成手段と、試料を照明光学系の光軸に対して垂直な方向に移動させる手段と、試料の照明光学系の光軸に対して垂直な面内での位置又はそれと等価な量を検出する手段と、参照光束と測定用光束の光路長差、又は、その光路長差と等価な量を検出する手段と、光検出手段と、光検出手段で検出した信号を演算する信号演算手段とを有し、試料が照明光学系の光軸に対して垂直な方向に移動している状態で、光検出手段により信号を検出することを特徴とする3次元形状測定装置。
F-Term (26)：
2F065AA06 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG05 ,  2F065GG12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ18 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2F065UU07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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