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J-GLOBAL ID:200903060648675826

連続シート状物体の欠点検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岩佐 義幸
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995137704
Publication number (International publication number):1996327561
Application date: Jun. 05, 1995
Publication date: Dec. 13, 1996
Summary:
【要約】【目的】 ガラス板内の異物,泡およびガラス板表面の傷,凹凸を判別する連続シート状物体の欠点検査装置を提供する。【構成】 ガラス板1の下側に明視野照明装置10,暗視野照明装置11を備え、ガラス板1の上側に、明視野照明装置と対向して1次元ラインセンサカメラ12を、暗視野照明装置と対向して1次元ラインセンサカメラ13を設ける。また、ガラス板の上側に反射照明装置14と、その反射光を受光する1次元ラインセンサカメラ15とを備える。
Claim (excerpt):
光を透過および反射する連続シート状物体に存在する欠点を検査する欠点検査装置において、明視野照明装置と、暗視野照明装置と、反射照明装置とを備えることを特徴とする連続シート状物体の欠点検査装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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