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J-GLOBAL ID：200903060868445830

蒸発装置

Inventor： 遠藤 鉄郎 ,  岩瀬 博俊 ,  加藤 晴三 ,  落合 真世
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (2)： 吉田 研二 ,  石田 純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004111434
Publication number (International publication number)：2004353083
Application date： Apr. 05, 2004
Publication date： Dec. 16, 2004
Summary：

【課題】蒸発装置において、長手方向に均一な蒸着物を放出する。【解決手段】長尺のるつぼ10の上部に配置された電熱ヒータ12に通電することで、るつぼ10内に収納され、電熱ヒータ12の下方に設けられている蒸発材料を加熱し、気化した蒸着材料が通過する電熱ヒータ12の開口から放出する。この長尺るつぼ10の外面には金属コーティング25を施してあり、これによって、るつぼ10の外部に輻射される熱を減少させることができ、電熱ヒータ12で発生した熱を高い効率で蒸発材料の昇温に利用できる。このため、長尺るつぼ10内の加熱を効率的にするとともに、内部温度の均一化を図る。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

上部が開放され蒸発材料を収容する細長い長尺るつぼと、前記長尺るつぼの上部開放部を覆い、通電により発熱し、前記長尺るつぼ内の前記蒸発材料を加熱し、かつ加熱により気化した前記蒸発材料が通過可能な開口を備えた電熱ヒータと、を含む蒸発装置であり、 前記長尺るつぼの外面に金属コーティングを施してあることを特徴とする蒸発装置。

IPC (4)：

C23C14/24 ,  C23C4/08 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (4)：

C23C14/24 A ,  C23C4/08 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

F-Term (15)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029DB23 ,  4K031AA01 ,  4K031AB02 ,  4K031AB08 ,  4K031CB07 ,  4K031CB37

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 成膜装置及び成膜方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-394259   Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所