被加工物認識装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997116831
Publication number (International publication number)：1998307004
Application date： May. 07, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】半導体ウェーハ等の被加工物の加工すべき領域及び加工状況の認識を行うことができる被加工物認識装置において、加工すべき領域及び加工状況を表面と裏面の双方から認識できるようにする。【解決手段】可視光及び赤外光を発光する発光体と、可視光または赤外光のいずれか一方を透過する狭帯域フィルタとを備えた被加工物認識装置を提供する。

Claim (excerpt)：

加工装置に装着され、被加工物を認識して加工すべき領域を検出する認識装置であって、被加工物に可視光及び赤外光を照射する照明手段と、被加工物において反射した可視光域から赤外光域までの光を拡大する光学手段と、可視光域から赤外光域までの光を認識できる撮像手段と、可視光及び赤外光のみを透過する狭帯域フィルタとを含み、該狭帯域フィルタは、可視光または赤外光のいずれか一方を選択的に透過するようにした被加工物認識装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-018567 Applicant：株式会社ニコン
精密切削装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-169792 Applicant：株式会社ディスコ

Cited by examiner (2)

観察方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-018567 Applicant：株式会社ニコン
精密切削装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-169792 Applicant：株式会社ディスコ

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