力学量センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995232926
Publication number (International publication number)：1997079921
Application date： Sep. 11, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】基板に固定された櫛歯電極の剛性を向上するとともに、質量の基板法線方向の変位を制限するストッパを備える力学量センサを提供する。【解決手段】質量部14と、質量を基板に支持する支持部17と、接続部22において基板に固定された両持梁構造である櫛歯状の電極部19,20で駆動電極21を形成し、駆動電極21に電圧を印加することにより質量の駆動が可能になる。このように基板に固定された櫛歯電極を両持梁構造とし、質量の基板法線方向の変位を制限するストッパを備えることにより、低コスト、高信頼な力学量センサを実現している。

Claim (excerpt)：

基板と、質量と、前記質量を支持する、前記基板に固定された支持部と、前記質量に対向した、前記基板に固定された複数の電極とを有し、力学量の入力により前記質量に発生する力を、前記質量と前記電極間で形成した対向電極で検出する力学量センサ、または、前記質量を、前記電極で振動駆動し、振動状態における力学量の入力により前記質量に発生する力を、前記質量と前記電極間で形成した対向電極で検出する力学量センサにおいて、前記電極は、前記基板に2カ所以上または全面で固定されており、かつ前記振動質量の前記基板法線方向の変位を制限するストッパを有することを特徴とする力学量センサ。

IPC (3)：

G01L 1/18 , G01P 15/10 , H01L 29/84

FI (3)：

G01L 1/18 , G01P 15/10 , H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

力学量センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-334748 Applicant：株式会社村田製作所
特表平4-504759
加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-324031 Applicant：株式会社日立製作所

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