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J-GLOBAL ID：200903061472962706

圧電アクチュエータおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
渡邉 将史

About 渡邉 将史


Applicant, Patent owner：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

About エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社


Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006204108
Publication number (International publication number)：2008032445
Application date： Jul. 27, 2006
Publication date： Feb. 14, 2008
Summary：
【課題】圧電アクチュエータにおいて、圧電素子の変位方向以外の低次のモードの共振周波数によって利用可能な周波数帯域が狭められることを防止し、高い周波数領域での駆動が可能な圧電アクチュエータを提供するものである。【解決手段】電圧を印加することで伸縮変位する圧電素子1の一端を土台5に固定し、圧電素子1の変位方向に対して略平行に設けられたケース3を備える。さらに、面方向が圧電素子1の変位方向に対して交差する少なくとも1つの板バネ2を、一端をケース3に、もう一端を圧電素子1の側面に固定する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
電圧を印加で変位する圧電素子を用いた圧電アクチュエータにおいて、 圧電アクチュエータの固定端となり且つ前記圧電素子の一端を固定する土台と、 前記圧電素子の変位方向に対して略平行に設けられ且つ前記土台に固定されたケースと、 前記圧電素子の変位方向に対して交差するように、一端を前記圧電素子の側面に、他端を前記ケースに保持される少なくとも1つの弾性体と、からなることを特徴とする圧電アクチュエータ
IPC (3)：
G01N 13/10 ,  G12B 21/20 ,  H02N 2/00
FI (3)：
G01N13/10 C ,  G12B1/00 601G ,  H02N2/00 B
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特開平3-51139号公報
Cited by examiner (4)
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