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J-GLOBAL ID：200903061511964770

アライメント装置,及びアライメント装置の調整方法

Inventor： 野村 博 ,  河野 拓也
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998287837
Publication number (International publication number)：2000122304
Application date： Oct. 09, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】アライメント装置を組み上げた後でもレンズ収差を調整する機能を有し、より高精度のアライメントを短時間に行うことを可能とする。【解決手段】照明光学系1を介して基板4上に形成されたアライメントマークを照明し、アライメントマークの像を、拡大光学系5を用いてCCDカメラ6の受光面に投影してアライメントマークの位置を測定するアライメント装置において、拡大光学系5にコマ収差の偏心成分を平行移動させる任意に傾きを調整可能な平行平面板7を設ける。

Claim (excerpt)：

照明光学系を介して下地基板上に形成されたアライメントマークを照明し、前記アライメントマークの像を拡大光学系を用いて検出器の受光面に投影して前記アライメントマークの位置を測定するアライメント装置において、前記拡大光学系にコマ収差の偏心成分を平行移動させる光学系を具備してなることを特徴とするアライメント装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 525 P

F-Term (5)：

5F046CB12 ,  5F046DA13 ,  5F046DB05 ,  5F046FA10 ,  5F046FB17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 位置決め装置及び位置決め方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-336345   Applicant：株式会社ニコン