Pat
J-GLOBAL ID：200903061527729593

パターンの位置合わせ方法

Inventor：
井田 徹

About 井田 徹

, 
服部 新一

About 服部 新一


Applicant, Patent owner：
日本アビオニクス株式会社

About 日本アビオニクス株式会社


Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998315786
Publication number (International publication number)：2000149020
Application date： Nov. 06, 1998
Publication date： May. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 位置決めマークが配設されていないパターンの位置合わせを行う。【解決手段】 マスタパターンにおいて、ランドを位置決めマークFmとし、ランドの中心Cmの座標を位置決めマークの座標とし、ランドとつながるパターンが延びる方向DIを位置決めマークの方向とする。被測定パターンの画像からマスタパターンの位置決めマークFmと対応する位置の所定の大きさの領域を取り出す。この領域内にあってマスタパターンの位置決めマークと方向が同じランドを被測定パターンの位置決めマークFpとして選択する。ランドの中心Cpの座標を位置決めマークの座標として算出する。被測定パターンとマスタパターンの互いの位置決めマークの位置を合わせる。
Claim (excerpt)：
基準となるマスタパターンの画像とカメラで撮像した被測定パターンの画像とを比較することにより被測定パターンを検査するパターン検査方法において、ランドを位置決めマークとし、ランドの中心座標を位置決めマークの座標とし、ランドとつながるパターンが延びる方向を位置決めマークの方向とする位置合わせ方法であって、被測定パターンの画像からマスタパターンの位置決めマークと対応する位置の所定の大きさの領域を取り出し、この領域内にあってマスタパターンの位置決めマークと前記方向が同じランドを被測定パターンの位置決めマークとして選択し、この位置決めマークにおいてランドの中心座標を被測定パターンの位置決めマークの座標として算出し、被測定パターンとマスタパターンの互いの位置決めマークの位置を合わせることにより、マスタパターンと被測定パターンの位置合わせを行うことを特徴とするパターンの位置合わせ方法。
IPC (2)：
G06T 7/00 ,  H01L 21/68
FI (2)：
G06F 15/62 405 C ,  H01L 21/68 G
F-Term (25)：
5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CD02 ,  5B057CD03 ,  5B057CD05 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC08 ,  5B057DC32 ,  5F031CA20 ,  5F031JA04 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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