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J-GLOBAL ID：200903061615707257

耐プラズマ性部材およびその製造方法

Inventor： 内丸 知紀 ,  森田 敬司 ,  市島 雅彦 ,  上野 宏子 ,  齋藤 秀一 ,  青木 克明 ,  西村 絵里子
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 松山 允之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000221844
Publication number (International publication number)：2002037683
Application date： Jul. 24, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 高い耐プラズマ性を有するとともに、曲げ強度や強靱性などの機械的な強度もすぐれた低コスト型の耐プラズマ部材および製造方法の提供。【解決手段】 セラミックス系燒結体から成る基材13と、前記基材13表面に形成された周期律表IIA族元素およびIIIA族元素の群から選ばれた少なくとも1種の元素を含む厚さ1〜1000μmのフッ化物層14とを有することを特徴とする耐プラズマ性部材15である。

Claim (excerpt)：

セラミックス系燒結体から成る基材と、前記基材表面に形成された周期律表IIA族元素およびIIIA族元素の群から選ばれた少なくとも1種の元素を含む厚さ1〜1000μmのフッ化物層とを有することを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (4)：

C04B 41/87 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  C23C 14/06

FI (5)：

C04B 41/87 D ,  C04B 41/87 J ,  H01L 21/31 A ,  C23C 14/06 G ,  H01L 21/302 B

F-Term (17)：

4K029AA07 ,  4K029BA42 ,  4K029BC01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29 ,  5F045AA08 ,  5F045AC00 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EH08 ,  5F045EM09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 耐蝕性部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-018471   Applicant：太平洋セメント株式会社