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J-GLOBAL ID：200903061646775153

研磨布のドレッシング装置および研磨布ドレッシング用砥石

Inventor：
茂木 克己

About 茂木 克己


Applicant, Patent owner：
三菱マテリアル株式会社

About 三菱マテリアル株式会社


Agent (1)： 小杉 佳男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996211264
Publication number (International publication number)：1998058306
Application date： Aug. 09, 1996
Publication date： Mar. 03, 1998
Summary：
【要約】【課題】研磨定盤に固着された研磨布上に所定の被研磨物を押し当てて相対移動させることにより被研磨物を研磨する研磨機における、研磨定盤に固着された研磨布のドレッシングを行なう研磨布のドレッシング装置および研磨布ドレッシング用砥石に関し、被研磨物へのスクラッチ等の加工損傷の抑制、金属汚染の防止を図る。【解決手段】ダイヤモンド砥粒52がニッケルメッキ53で固定されてなる電着砥石もしくは電鋳砥石の表面にコーティング層54が形成されてなる研磨布ドレッシング用砥石を用いる。
Claim (excerpt)：
研磨定盤に固着された研磨布上に所定の被研磨物を押し当てて相対移動させることにより該被研磨物を研磨する研磨機における、研磨定盤に固着された研磨布のドレッシングを行なう研磨布のドレッシング装置において、超砥粒が金属メッキで固定されてなる超砥粒の電着砥石もしくは電鋳砥石の表面にコーティング層が形成されてなる研磨布ドレッシング用砥石と、前記研磨布ドレッシング用砥石の表面を研磨定盤に固着された研磨布に押し当てた状態に該研磨布ドレッシング用砥石を支持する支持機構と、前記砥石支持機構に支持された研磨布ドレッシング用砥石を、研磨定盤に固着された研磨布に対し相対移動させる移動機構とを備えたことを特徴とする研磨布のドレッシング装置。
IPC (3)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304
FI (3)：
B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 321 B ,  H01L 21/304 321 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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