発光装置およびその作製方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003319685
Publication number (International publication number)：2004127933
Application date： Sep. 11, 2003
Publication date： Apr. 22, 2004
Summary：

【課題】従来では、あまり狭い幅の隔壁は形成できないため、高精細化することが困難であり、さらに発光素子としての開口率が低いという問題点があった。また、陽極が設けられた基板をEL材料を蒸着する装置に搬送する際には、静電破壊の恐れやゴミが付着する恐れがある。【解決手段】無機絶縁膜からなる第1の隔壁11を形成し、その上に絶縁膜を形成した後、エッチバックを行って、第1の隔壁の側面に接する第2の隔壁12を形成することによってサイドウォール型の隔壁を形成する。また、静電破壊を防ぐため、帯電防止層を設けて搬送を行った後、帯電防止層を除去して第2の隔壁12を形成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

絶縁表面を有する基板上に第1の電極と、有機化合物を含む層と、第2の電極とを有する発光素子を備えた発光装置であって、第1の電極の端部を覆う第1の隔壁と、該第1の隔壁の側壁となる第2の隔壁とを有することを特徴とする発光装置。

IPC (5)：

H05B33/22 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/26

FI (5)：

H05B33/22 Z , H05B33/10 , H05B33/12 B , H05B33/14 A , H05B33/26 Z

F-Term (8)：

3K007AB11 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007CB01 , 3K007DB03 , 3K007EA00 , 3K007EC00 , 3K007FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

発光装置およびその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-038053 Applicant：株式会社半導体エネルギー研究所

Cited by examiner (4)

表示装置及び表示装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-266441 Applicant：ソニー株式会社
カラーフィルタ基板、カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-003022 Applicant：セイコーエプソン株式会社
ELパネルおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-012232 Applicant：シャープ株式会社

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