内部共振器型レーザ分光方法(ILS)による気体汚染物質の高感度検出方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柳田征史 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997511277
Publication number (International publication number)：1998503289
Application date： Aug. 29, 1996
Publication date： Mar. 24, 1998
Summary：

【要約】浸食性のようなガス中の汚染物質を、内部共振器型レーザ分光方法(ILS)を用いて1ppm以下の濃度、さらには1ppb以下のレベルまで光学的に検出する。レーザ(500)、ILSレーザ(500)が検出器(10)として使用される。ILSレーザ(500)はレーザ共振器(5)内に含まれる利得媒体(507)からなる。気体汚染物質である気体粒子を含むガスサンプルはガスサンプルセル(406)内に含まれ、ガスサンプルセル(406)はレーザ共振器(5)の中の利得媒体(507)の片側に配置される。浸食性ガス内の気体粒子を検出する場合、浸食性ガスがILSレーザ(500)の部品と反応することを防ぐ。ILSレーザ(500)の出力信号を気体粒子を鑑定するため検出し分析する。気体粒子の濃度を同様にスペクトル特性から決定する。

Claim (excerpt)：

ガスサンプル内の気体粒子の存在を検出するガス検出システム(10)において、 (a)レーザ共振器(5)と、 (b)その中に配されたイオン添加された結晶(507)と、 (c)該レーザ共振器(5)の外部に配置され、該イオン添加された結晶(507)を光励起する出力を有し、それにより該レーザ共振器(5)から出射する出力ビームを生じさせる励起レーザ(100)と、 (d)該レーザ共振器(5)内で該ガスサンプルを保持するためのコンテナ(400、406)とを備え、前記イオン添加された結晶(507)からの前記出力ビームが該レーザ共振器(5)から出力される前に該ガスサンプル中を伝搬するように構成されていることを特徴とするガス検出システム。

IPC (2)：

G01N 21/27 , G01N 21/01

FI (2)：

G01N 21/27 Z , G01N 21/01 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特表平4-501036
色素レーザ発振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-035147 Applicant：レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝
特開昭51-046182

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