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J-GLOBAL ID:200903061865448257
X線撮像装置および方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002138834
Publication number (International publication number):2003329622
Application date: May. 14, 2002
Publication date: Nov. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】 蛍光X線動画像として、物質の表面における元素の分布または組成の経時変化を、表示または記録することを可能とするX線撮像装置および方法を提供する。【解決手段】 X線、粒子線、またはイオンビームのいずれかのビームを物質(2)の表面に照射するためのビーム照射手段(1)と、X線領域の波長に対して感度を有する撮像手段(4)と、撮像手段に入射するX線の角度発散を制御するための角度発散制限手段(5)と、撮像手段(4)で撮像されるX線画像を表示するためのX線画像表示手段(6)と、からなるX線撮像装置であって、前記撮像手段において前記ビームが物質に照射されることで発生する蛍光X線および散乱X線(3)を撮像し、撮像された画像をX線画像表示手段(6)に動画像として表示する。
Claim (excerpt):
X線、粒子線、またはイオンビームのいずれかのビームを物質の表面に照射するためのビーム照射手段と、X線領域の波長に対して感度を有する撮像手段と、撮像手段に入射するX線の角度発散を制御するための角度発散制限手段と、撮像手段で撮像されるX線画像を表示するためのX線画像表示手段と、からなるX線撮像装置であって、前記撮像手段において前記ビームが物質に照射されることで発生する蛍光X線および散乱X線を撮像し、撮像された画像をX線画像表示手段に動画像として表示することを特徴とするX線撮像装置。
IPC (5):
G01N 23/223
, G01N 23/20
, G01T 1/00
, G01T 7/00
, G21K 1/02
FI (5):
G01N 23/223
, G01N 23/20
, G01T 1/00 B
, G01T 7/00 B
, G21K 1/02 G
F-Term (26):
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001AA09
, 2G001AA10
, 2G001BA04
, 2G001BA14
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001FA06
, 2G001GA03
, 2G001GA07
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001KA20
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001SA02
, 2G001SA30
, 2G088EE30
, 2G088FF02
, 2G088FF03
, 2G088JJ05
, 2G088JJ13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
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X線撮像分析方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-229180
Applicant:科学技術庁金属材料技術研究所長
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