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J-GLOBAL ID:200903061904664477
深度制御またはZ軸駆動の方法とその装置
Inventor:
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,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
松岡 修平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004118579
Publication number (International publication number):2004321792
Application date: Apr. 14, 2004
Publication date: Nov. 18, 2004
Summary:
【課題】光学機器に用いる深度制御やZ軸駆動を提供する。【解決手段】軸12に沿って位置を制御するための位置制御装置10であって、前記軸12に沿って膨張・収縮するように配置できる形状記憶合金28を備えた、前記軸12に沿って伸張・収縮することができる伸張性部材26と、前記形状記憶合金28の温度を制御するための加熱手段82と、前記加熱手段82を制御するためのものであって、位置の変化に応答して動作するフィードバック機構32とを有し、前記位置は前記加熱手段82によって制御可能であり、前記フィードバック機構32によって一定に保たれる。【選択図】図1A
Claim (excerpt):
軸に沿って位置を制御するための位置制御装置であって、
前記軸に沿って膨張・収縮するように配置できる形状記憶合金を備えた、前記軸に沿って伸張・収縮することができる伸張性部材と、
前記形状記憶合金の温度を制御するための加熱手段と、
前記加熱手段を制御するためのものであって、位置の変化に応答して動作するフィードバック機構とを有し、
前記位置は前記加熱手段によって制御可能であり、前記フィードバック機構によって一定に保たれる、位置制御装置。
IPC (3):
A61B1/00
, G02B7/08
, G02B23/24
FI (4):
A61B1/00 300P
, G02B7/08 C
, G02B7/08 Z
, G02B23/24 A
F-Term (16):
2H040BA04
, 2H040BA05
, 2H040BA21
, 2H040BA23
, 2H040DA12
, 2H040DA18
, 2H040DA19
, 2H044DA01
, 2H044DB00
, 2H044DC01
, 2H044DE06
, 4C061AA04
, 4C061FF35
, 4C061HH28
, 4C061JJ02
, 4C061PP13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特公昭63-043765
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特公平5-087677
-
位置制御駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-118178
Applicant:ミノルタ株式会社
-
光走査プローブ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-028526
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
-
光走査プローブ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-336294
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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