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J-GLOBAL ID:200903062221344511

保護層接合体の製造方法および保護層接合体を用いた部品の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002343585
Publication number (International publication number):2004176128
Application date: Nov. 27, 2002
Publication date: Jun. 24, 2004
Summary:
【課題】使用環境や加工環境より保護するための保護層と、非保護層を積層接合してなる保護層接合体の製造方法、および保護層接合体を用いた部品の製造方法の提供。【解決手段】保護層28と非保護層22を積層してなる保護層接合体10の製造方法であって、保護層28および非保護層22の接合されるそれぞれの面を活性化処理して不要物層を除去した後、接合されるそれぞれの面を対向するように当接して重ね合わせて積層接合して保護層接合体10を製造する。保護層接合体10に支持体26を積層して積層材12とし、支持体26にエッチング加工を施して開口接合材30を製造して分離膜部品とし、またはメッシュ板34や基台36を積層して分離膜ユニット32として、水素分離装置などに適用する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
保護層と非保護層を積層してなる保護層接合体の製造方法であって、保護層および非保護層の接合されるそれぞれの面を活性化処理して不要物層を除去した後、接合されるそれぞれの面を対向するように当接して重ね合わせて積層接合することを特徴とする保護層接合体の製造方法。
IPC (3):
C23F4/00 ,  B32B31/12 ,  B32B33/00
FI (3):
C23F4/00 A ,  B32B31/12 ,  B32B33/00
F-Term (28):
4F100AB01A ,  4F100AB01B ,  4F100AB24 ,  4F100AB31 ,  4F100AT00A ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100EC012 ,  4F100EH66A ,  4F100EH66B ,  4F100EJ192 ,  4F100EJ55A ,  4F100EJ55B ,  4F100EJ60A ,  4F100EJ60B ,  4F100EJ64A ,  4F100EJ64B ,  4F100GB41 ,  4K057DA01 ,  4K057DB02 ,  4K057DB03 ,  4K057DB04 ,  4K057DD02 ,  4K057DE14 ,  4K057DG01 ,  4K057DG06 ,  4K057DG12 ,  4K057DN01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開平1-224184
  • 積層金属板の製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平11-268608   Applicant:日立金属株式会社
  • 水素ガス分離ユニット及びその製造方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2000-099880   Applicant:東洋鋼鈑株式会社, 東京瓦斯株式会社
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