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J-GLOBAL ID：200903062344665541

蒸着源及び蒸着装置

Inventor：
阿川 義昭

About 阿川 義昭

, 
大浦 久美

About 大浦 久美


Applicant, Patent owner：
株式会社アルバック

About 株式会社アルバック


Agent (1)： 石島 茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001017769
Publication number (International publication number)：2002220655
Application date： Jan. 26, 2001
Publication date： Aug. 09, 2002
Summary：
【要約】【課題】同軸型アーク蒸着源のメンテナンスに要するコストを低減する技術を提供する。【解決手段】本発明の蒸着源5は、蒸着材料11と絶縁碍子14とを有し、蒸着材料11は、蒸発により主に消耗する部分である主蒸発部分11aと、消耗が少ない従蒸発部分11bとに分離でき、絶縁碍子14は、主として消耗するつば状碍子14bと、消耗が少ない内筒碍子14a等とに分離できるように構成されている。このため、蒸着材料11や絶縁碍子14が消耗して交換が必要になった場合でも、主として消耗する主蒸発部分11aやつば状碍子14bのみを交換すればよいので、交換のたびごとに、消耗が少ない部分を含めて蒸着材料や絶縁碍子の全体を交換していた従来に比して、コストを低減することができる。
Claim (excerpt)：
アノード電極と、カソード電極と、トリガ電極と、前記カソード電極に接続された蒸着材料とを有し、前記蒸着材料は、その一面が前記アノード電極と対向し、前記トリガ電極に近接した位置に配置され、前記カソード電極と前記アノード電極との間に電圧を印加した状態で、前記トリガ電極に電圧を印加すると、該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成物質が蒸発するように構成された蒸着源であって、前記蒸着材料は、前記アノード電極と対向する一面が前記トリガ電極に近い位置に位置し、かつ前記構成物質が主として蒸発する部分である主蒸発部分と、前記アノード電極と対向する一面が前記主蒸発部分に比して前記トリガ電極と遠い位置に位置し、前記主蒸発部分に比して前記構成物質の蒸発量が少ない部分である従蒸発部分とを有し、前記主蒸発部分は、前記従蒸発部分に対して交換可能に構成された蒸着源。
FI (2)：
C23C 14/24 E ,  C23C 14/24 F
F-Term (2)：
4K029DB07 ,  4K029DD06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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