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J-GLOBAL ID:200903062604386684

可燃性ガスセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 須藤 政彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002198038
Publication number (International publication number):2003156461
Application date: Jul. 05, 2002
Publication date: May. 30, 2003
Summary:
【要約】【課題】 可燃性ガスセンサを提供する。【解決手段】 可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出するガス検出センサであって、被検出ガスと接触して触媒反応を起こす触媒材と、この反応による発熱から発生する局部的な温度差を電圧信号に変換する熱電変換材料膜を構成要素として含むことを特徴とする可燃性ガス検出センサ。【効果】 室温作動で、シリコンチップへの集積化が可能であり、検出ガスによる抵抗変化が殆ど無く、特定ガスの選択的識別及び定量測定が可能であり、信頼度、秒単位の高速応答性、くり返し特性に優れたガス検出センサが得られる、という効果を奏する。
Claim (excerpt):
可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出するガス検出センサであって、被検出ガスと接触して触媒反応を起こす触媒材と、この反応による発熱から発生する局部的な温度差を電圧信号に変換する熱電変換材料膜を構成要素として含むことを特徴とする可燃性ガス検出センサ。
IPC (5):
G01N 25/22 ,  G01K 7/16 ,  G01N 25/32 ,  G01N 27/416 ,  H01L 37/00
FI (5):
G01N 25/22 ,  G01K 7/16 B ,  G01N 25/32 ,  H01L 37/00 ,  G01N 27/46 371 G
F-Term (8):
2G040AA02 ,  2G040AB16 ,  2G040BA23 ,  2G040BB01 ,  2G040BB10 ,  2G040CA01 ,  2G040CA13 ,  2G040DA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭55-156847
  • 熱電変換素子用酸化物部材
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-141192   Applicant:工業技術院長, 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
  • 特許第3051922号
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Article cited by the Patent:
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