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J-GLOBAL ID：200903062822991379

集積回路の検査方法と装置

Inventor： 久貝 裕一
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 越場 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993231042
Publication number (International publication number)：1995063823
Application date： Aug. 24, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：

【要約】【構成】磁気的に安定した検査領域内で集積回路を動作させ、該集積回路内を流れる電流により発生した磁界の変動をSQUIDで検出することにより、該集積回路内での電流の状態を実時間で監視する。【効果】集積回路の動作状態を、実時間で直接にモニタすることができる。

Claim (excerpt)：

磁気的に安定した検査領域内で集積回路を動作させ、該集積回路内を流れる電流により発生した磁界の変動を、SQUIDを用いた磁気センサで検出して、該集積回路内の電流の状態を実時間で監視することを特徴とする集積回路の検査方法。

IPC (2)：

G01R 31/302 ,  G01R 33/035

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-002967
  
• SQUID用プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-239166   Applicant：株式会社島津製作所
• 多チヤンネルプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-186497   Applicant：セイコー電子工業株式会社
• 磁気計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-161912   Applicant：富士通株式会社