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J-GLOBAL ID：200903063019621798

金属酸化膜の改質方法、金属酸化膜の成膜方法及び熱処理装置

Inventor：
邵 寿潜

About 邵 寿潜


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001026170
Publication number (International publication number)：2002050622
Application date： Feb. 01, 2001
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 膜質特性を良好に改善することができる金属酸化膜の改質方法を提供する。【解決手段】 被処理体Wの表面に形成された金属酸化膜2を、改質ガスを用いて改質処理する改質方法において、前記改質ガスは実質的に純粋な酸素ラジカルよりなるガスとする。これにより、膜質特性を良好に改善することができる。
Claim (excerpt)：
被処理体の表面に形成された金属酸化膜を、改質ガスを用いて改質処理する改質方法において、前記改質ガスは実質的に純粋な酸素ラジカルよりなるガスであることを特徴とする金属酸化膜の改質方法。
IPC (6)：
H01L 21/316 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/31 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822
FI (6)：
H01L 21/316 P ,  H01L 21/316 X ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/31 A ,  H01L 27/04 C
F-Term (51)：
4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030DA08 ,  4K030DA09 ,  4K030EA06 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ16 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F045AB31 ,  5F045AC09 ,  5F045AC11 ,  5F045AC16 ,  5F045AD04 ,  5F045AD05 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD12 ,  5F045AE21 ,  5F045AE23 ,  5F045AE25 ,  5F045AF03 ,  5F045BB08 ,  5F045BB16 ,  5F045DC63 ,  5F045DP04 ,  5F045EB02 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04 ,  5F045EE06 ,  5F045EF05 ,  5F045EK07 ,  5F045HA16 ,  5F045HA23 ,  5F058BA11 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC20 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF37 ,  5F058BH16 ,  5F058BJ01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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