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J-GLOBAL ID：200903063200805051

磁気抵抗効果多層膜およびその製造方法

Inventor： 小池 文人 ,  長谷川 直也
Applicant, Patent owner： アルプス電気株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995128659
Publication number (International publication number)：1996321644
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、非磁性層の両側に配置される磁性層の構造を特別に工夫することで、小さな磁界変化で大きな磁気抵抗変化率を示すことができるようにした磁気抵抗効果多層膜およびその製造方法の提供を目的とする。【構成】 本発明は、少なくとも2層の対になる強磁性層24、26が、それらの間に非磁性層25を介在させて基板20上に積層されてなる磁気抵抗効果多層膜であって、前記対になる強磁性層24、26の少なくとも一方が、少なくとも2種類の異種磁性材料から構成されてなるものであり、かつ異種磁性材料間に明確な界面が存在せず、濃度勾配を有するものである。

Claim (excerpt)：

少なくとも2層の対になる強磁性層が、それらの間に非磁性層を介在させて基板上に積層されてなる磁気抵抗効果多層膜であって、前記対になる強磁性層の少なくとも一方が、少なくとも2種類の異種磁性材料から構成されてなることを特徴とする磁気抵抗効果多層膜。

IPC (6)：

H01L 43/08 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  G01B 7/00

FI (6)：

H01L 43/08 Z ,  C23C 14/06 T ,  C23C 14/34 P ,  G11B 5/39 ,  G01B 7/00 J ,  G01R 33/06 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁気記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-223277   Applicant：株式会社日立製作所
• 磁気抵抗効果素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-340801   Applicant：財団法人生産開発科学研究所
• 積層膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-033877   Applicant：株式会社東芝