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J-GLOBAL ID：200903063201077602

ダイヤフラムポンプ

Inventor： 加藤 宗 ,  三宅 亮 ,  小出 晃 ,  佐々木 康彦 ,  寺山 孝男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 吉岡 宏嗣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999319097
Publication number (International publication number)：2001132646
Application date： Nov. 10, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】 送液精度を向上したダイヤフラムポンプを提供する。【解決手段】 ダイヤフラム13と、該ダイヤフラム13を往復変位させる駆動手段と、前記ダイヤフラム13で一部が画成された圧力室7と、前記ダイヤフラム13の変位計測手段29と、該変位計測手段29で検出した値に基づいて前記ダイヤフラム13の変位を制御する制御手段19とを備える。このようにすれば、変位計測手段29で計測した値に基づき、制御部19は、ダイヤフラム13の変位が所定の送液量となるような適切な変位になるように駆動手段15を制御できるので送液精度を向上することができる。

Claim (excerpt)：

ダイヤフラムと、該ダイヤフラムを往復変位させる駆動手段と、前記ダイヤフラムで一部が画成された圧力室と、前記ダイヤフラムの変位計測手段と、該変位計測手段で検出した値に基づいて前記ダイヤフラムの変位を制御する制御手段とを備えてなるダイヤフラムポンプ。

F-Term (10)：

3H077AA01 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE05 ,  3H077FF10 ,  3H077FF36 ,  3H077FF55 ,  3H077FF57

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭60-230575
  
• 定量ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-287060   Applicant：東芝セラミックス株式会社
• 特開平3-225085
  
• 特開平1-280694
  
• 小型ポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-116355   Applicant：松下電工株式会社