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J-GLOBAL ID：200903063326455188

スピロビインダンフェノールスルホン酸エステルおよびその用途

Inventor： 浦上 達宣 ,  詫摩 啓輔
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995305490
Publication number (International publication number)：1997143146
Application date： Nov. 24, 1995
Publication date： Jun. 03, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 式(1)で表されるスピロビインダンスルホン酸エステルおよび酸発生剤として該スルホン酸エステルを含有するポジ型レジスト材料。(式中、R1 は置換されていてもよいアルキル基または置換されていてもよいアリール基を表し、R2 は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ニトロ基またはハロゲン原子を表し、mは1または2を表し、nは1〜3の整数を表し、n+mは4以下である)【効果】 感度および解像度の優れた高エネルギー線用ポジ型レジスト材料を提供する。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)(化1)で表されるスピロビインダンフェノールスルホン酸エステル。【化1】(式中、R1 は置換されていてもよいアルキル基または置換されていてもよいアリール基を表し、R2 は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ニトロ基またはハロゲン原子を表し、mは1または2を表し、nは1〜3の整数を表し、n+mは4以下である)

IPC (3)：

C07C309/65 ,  C07C309/72 ,  G03F 7/004 503

FI (3)：

C07C309/65 ,  C07C309/72 ,  G03F 7/004 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭56-159644