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J-GLOBAL ID：200903063385283480

貴金属単結晶群の形成方法並びに適用品及びその製造方法

Inventor： 宮本 雅彦 ,  池田 勉 ,  千葉 啓子 ,  谷口 尚郷 ,  八木 隆行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992344632
Publication number (International publication number)：1994192841
Application date： Dec. 24, 1992
Publication date： Jul. 12, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、特定の貴金属単結晶群の形成方法並びに適用品及びその製造方法に関し、特に走査型トンネル顕微鏡用の試料基板、X線マスク構造体、反射型光学素子用の回折格子素子及びバンプボンディング用のバンプ等に好適に用いられる貴金属単結晶群の形成方法並びに該形成方法により得られる上記適用品及びその製造方法の提供を目的とする。【構成】 金を溶解する溶液に金を溶解せしめた金錯体溶液を、昇温揮発処理および還元剤添加などの分解処理を施すことにより、該溶液中の金を過飽和状態に移行させ、金単結晶を析出させて特定の金単結晶群や金結晶薄膜を形成する方法により上記の目的達成を図る。

Claim (excerpt)：

貴金属単結晶群の形成方法において、貴金属を溶解する特性を有する溶液に貴金属を溶解させた貴金属錯体溶液を用い、該貴金属錯体を分解処理することにより溶液中の貴金属を過飽和状態に移行させて、貴金属単結晶を析出せしめることを特徴とする貴金属単結晶群の形成方法。

IPC (4)：

C23C 18/08 ,  C22B 11/00 ,  C23C 14/14 ,  G21K 1/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 金単結晶薄膜、その製造方法及び用途
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-291185   Applicant：キヤノン株式会社