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J-GLOBAL ID：200903063434721064

耐食性部材

Inventor： 伊東 裕見子 ,  会田 比呂史
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996201563
Publication number (International publication number)：1998045467
Application date： Jul. 31, 1996
Publication date： Feb. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来から用いられているガラス、石英、ステンレス、アルミナ、AlNの焼結体は、フッ素系プラズマに対して十分な耐食性を示さず、焼結体においては、腐食が徐々に進行して焼結体の表面から結晶粒子の脱粒が生じ、パーティクルが発生するなどの問題があった。【解決手段】CF4 やSF4 などのフッ素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、Y、La、Ce、Nd、Dyなどの周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物、例えば、3Y2 O3 ・5Al2 O3 、2Y2 O3 ・Al2 O3 、Y2 O3 ・Al2 O3 、ダイシリケート、モノシリケートなどの焼結体などにより構成する。

Claim (excerpt)：

フッ素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位が,周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物からなることを特徴とする耐食性部材。

IPC (7)：

C04B 35/44 ,  B01J 19/02 ,  C04B 35/00 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/50

FI (7)：

C04B 35/44 ,  B01J 19/02 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  C04B 35/00 H ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 真空チャンバ用部品及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-118310   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開平4-233154
  
• 電極材およびこれを用いた高圧放電灯
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-319123   Applicant：京セラ株式会社