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J-GLOBAL ID：200903063546746922
位置検出系性能評価方法及びそれを用いた位置検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996112058
Publication number (International publication number)：1997280816
Application date： Apr. 09, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 位置検出装置の検出光学系の調整状態を精密に評価して、高精度なアライメントを達成すること。【解決手段】 物体上に異なる二つの段差構造のアライメントマークを作成し、該物体を一体で180°回転して計測し、検出系の状態を確認することにより、検出系の性能を直接評価する方法及び該方法で調整した位置検出装置。
Claim (excerpt)：
物体の位置を計測する位置検出装置の一要素を構成する検出光学系の調整状態を、予め所定の異なる段差構造を持つ複数個のアライメントマークの作成された物体を、複数の状態で計測して確認することを特徴とする位置検出系性能評価方法。
IPC (2)：
FI (3)：
G01B 11/00 A
, H01L 21/30 516 B
, H01L 21/30 525 W
