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J-GLOBAL ID：200903063572744555
圧電センサ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002322301
Publication number (International publication number)：2004156991
Application date： Nov. 06, 2002
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：
【課題】耐熱性に優れ、なおかつ簡単な構造で低価格の圧電センサを提供する。【解決手段】金属ダイアフラム10に下地層11、圧電薄膜層12、上部電極13がこの順に積層されてなる圧力検知手段3において、圧電薄膜層12がキュリー点を持たない窒化アルミニウム(AlN)や酸化亜鉛(ZnO)もしくはこれら材料と同効の圧電材料より形成され、双極子配向度が75%以上である。圧電センサがこの圧力検知手段3を備えることにより、圧電特性を良好に保ちつつ、耐熱性や耐久性があり、構造が簡単なものとなる。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
圧力を伝達する圧力伝達手段と、上記圧力伝達手段により伝達される圧力を受けて電気信号に変換する圧電素子と、を含む圧力検知手段を備えた圧電センサにおいて、
上記圧電素子が、キュリー点の存在しない圧電材料よりなり、その双極子配向度が75%以上であることを特徴とする圧電センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (10)：
2F055AA23
, 2F055BB12
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055DD09
, 2F055EE23
, 2F055FF01
, 2F055FF43
, 2F055GG01
, 2F055GG11
Cited by examiner (3)
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高温薄膜型振動センサー
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-298228
Applicant：工業技術院長
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圧電センサ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-349644
Applicant：日本特殊陶業株式会社
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圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-203876
Applicant：岡田和廣
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