傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：五丁龍志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004222162
Publication number (International publication number)：2007296530
Application date： Jul. 29, 2004
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：

【課題】精度の高い傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法を提供すること。【解決手段】加工対象物200に転写するための所定のパターンが形成されている型100と、加工対象物200を保持するための対象物保持手段20と、型100を保持するための型保持部41を一端に有すると共に、型100のパターンが形成されている面の中心を中心点とする凸球面46を有する型保持手段40と、凸球面46と当接する凸球面46と同径の凹球面55を有し、型保持手段40を介して型100を加工対象物200に押圧する押圧手段50と、凸球面46を凹球面55に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段60と、を具備する傾き調整機能付きパターン形成装置を用いて、正確に型100と加工対象物200との相対的な傾きを調整する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

所定のパターンが形成されているパターン面を有する型を加工対象物に押圧するためのプレス装置であって、前記型を保持するための型保持部を一端に有すると共に、前記パターン面の中心を中心点とする凸球面を有する型保持手段と、前記凸球面と当接する前記凸球面と同径の凹球面を有し、前記型保持手段を介して前記型を加工対象物に押圧する押圧手段と、前記凸球面を前記凹球面に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段と、を具備することを特徴とする傾き調整機能付きプレス装置。

IPC (3)：

B30B 15/06 , B81C 5/00 , H01L 21/027

FI (3)：

B30B15/06 H , B81C5/00 , H01L21/30 502D

F-Term (5)：

4E088CA10 , 5F046AA28 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046DA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

動圧空気軸受システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-348668 Applicant：株式会社リコー
傾斜器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-319193 Applicant：株式会社宮沢マシン
パターン化されたメディア製造のためのディスク位置合わせシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-321566 Applicant：コマーグ・インコーポレーテッド

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