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J-GLOBAL ID：200903063716667798

露光装置及びデバイスの製造方法

Inventor： 加藤 日出夫 ,  前原 広
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997282995
Publication number (International publication number)：1999111606
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 酸化チタン(TiO2)膜を部材の表面に設け、該表面への汚染物質の付着防止や堆積防止を図った露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 光源から放射した光束で照明系を介して被照射面上のパターンを照明し、該パターンを投影光学系により基板面上に投影し露光する投影露光装置において、該投影露光装置を構成する一部の部材の表面に酸化チタン膜を設けていること。

Claim (excerpt)：

光源から放射した光束で照明系を介して被照射面上のパターンを照明する照明装置において、該照明系を構成する一部の部材の表面に酸化チタン膜を設けていることを特徴とする照明装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 31/0264 ,  H01S 3/00

FI (5)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/00 B ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 31/08 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 紫外線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-195706   Applicant：株式会社ニコン
• 光露光システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-266048   Applicant：日本電信電話株式会社