Pat
J-GLOBAL ID：200903063761407500

チタニア超薄膜およびその製造方法

Inventor：
佐々木 高義

About 佐々木 高義

, 
海老名 保男

About 海老名 保男

, 
渡辺 遵

About 渡辺 遵


Applicant, Patent owner：
独立行政法人物質・材料研究機構

About 独立行政法人物質・材料研究機構


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000083654
Publication number (International publication number)：2001270022
Application date： Mar. 24, 2000
Publication date： Oct. 02, 2001
Summary：
【要約】【課題】 従来の薄膜とは微細組織、膜厚などの制御性、光吸収性などの物性が大きく異なる新規な超薄膜の開発。【構成】 層状チタン酸化物微結晶を剥離して得られる薄片粒子とポリマーが積層した多層超薄膜。薄片粒子が組成式Ti1-δO2(0≦δ≦0.5)示されるチタニアナノシートである。膜厚はサブnm〜nmレンジで制御可能である。この超薄膜は、波長300nm以下の紫外光を高効率で吸収する。チタニアナノシートが懸濁したゾルとカチオン性ポリマー溶液に基板を交互に浸漬する操作を反復することにより、基板上にナノシートとポリマーをそれぞれサブnm〜nmレベルの厚さに吸着させ、該成分が交互に繰り返す多層膜を累積することによってチタニア超薄膜を製造できる。
Claim (excerpt)：
層状チタン酸化物微結晶を剥離して得られる薄片粒子とポリマーが積層した多層超薄膜。
IPC (6)：
B32B 9/00 ,  B01J 21/06 ,  B01J 35/02 ,  C01G 23/00 ,  C01G 23/04 ,  C03C 17/42
FI (7)：
B32B 9/00 A ,  B01J 21/06 M ,  B01J 35/02 J ,  C01G 23/00 B ,  C01G 23/00 C ,  C01G 23/04 C ,  C03C 17/42
F-Term (40)：
4F100AA21A ,  4F100AK01B ,  4F100AK35 ,  4F100AK80 ,  4F100BA02 ,  4F100GB90 ,  4F100JA11A ,  4F100JM02A ,  4F100JN08 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G059AA20 ,  4G059AB01 ,  4G059AC07 ,  4G059AC30 ,  4G059EA04 ,  4G059EB07 ,  4G059FA07 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA16 ,  4G069AA04 ,  4G069AA08 ,  4G069AA09 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA04C ,  4G069BA37 ,  4G069BA48C ,  4G069BC50A ,  4G069BC50B ,  4G069BC50C ,  4G069CA07 ,  4G069CA10 ,  4G069DA06 ,  4G069FA02 ,  4G069FA03 ,  4G069FB08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM