Pat

J-GLOBAL ID：200903063771820627

平板導波路型ブラッググレーティングの製造方法

Inventor： 荒井 英明 ,  鈴木 良治 ,  田村 維識 ,  上塚 尚人 ,  樫村 誠一 ,  本郷 晃史
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997349651
Publication number (International publication number)：1999183746
Application date： Dec. 18, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 導波路素子の反りが小さく、導波路上の金属膜のダメージが無く、かつ充分な屈折率上昇を有する平板導波路型ブラッググレーティングの製造方法を提供する。【解決手段】 コア材料が波長248nm付近の紫外光を照射すると屈折率が上昇する性質を有するGeO2 -SiO2 である平板型光導波路に前記の性質を利用してコアの屈折率を周期的に変調することによって平板導波路型ブラッググレーティングを製造するにおいて、コア膜をスパッタ法により形成し、かつ紫外光を照射する前に平板型光導波路を100気圧以上の水素雰囲気中に72時間以上放置する。

Claim (excerpt)：

コア材料が波長248nm付近の紫外光を照射すると屈折率が上昇する性質を有するGeO2 -SiO2 である平板型光導波路に前記の性質を利用してコアの屈折率を周期的に変調することによって平板導波路型ブラッググレーティングを製造する方法において、コア膜をスパッタ法により形成し、かつ紫外光を照射する前に平板型光導波路を100気圧以上の水素雰囲気中に72時間以上放置することを特徴とする平板導波路型ブラッググレーティングの製造方法。

IPC (3)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/12

FI (3)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• スイッチング機能を備えた光部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-341468   Applicant：日立電線株式会社
• 光学素子を含む物品及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-103350   Applicant：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
• 光回路部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-227075   Applicant：日本電信電話株式会社