超強酸オニウム塩化合物および感放射線性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002010910
Publication number (International publication number)：2003215791
Application date： Jan. 18, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】化学増幅型レジストとして使用される感放射線性樹脂組成物の感放射線性酸発生剤に好適な、高感度で効率良く酸を発生できる新規超強酸オニウム塩化合物の提供、および、当該超強酸オニウム塩化合物を用いた優れた化学増幅型のポジ型の感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】下記一般式(1)、(2)または(3)で表される超強酸オニウム塩化合物、および、当該超強酸オニウム塩化合物を用いた優れた化学増幅型のポジ型の感放射線性樹脂組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)、一般式(2)、または一般式(3)で表される超強酸オニウム塩化合物。【化1】〔一般式(1)、(2)または(3)において、Y1 、Y2 、Y3はそれぞれ独立で、SO2基またはCO基、R1、R2、R3はそれぞれ独立で、電子求引性の有機置換基(これらの構造中にさらに置換基、ヘテロ原子を持ってもよく、またR1、R2、R3はそれぞれが結合して環を形成してもよいし、隣の分子と結合してポリマー状になってもよい。)をそれぞれ表す。Z+ は硫黄またはヨウ素のオニウムカチオンを示す。〕

IPC (5)：

G03F 7/004 503 , C07C 25/02 , C07C307/02 , C07C381/12 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/004 503 A , C07C 25/02 , C07C307/02 , C07C381/12 , H01L 21/30 502 R

F-Term (12)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025FA17 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB80

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

フッ素化されたイオン性スルホニルイミド及びスルホニルメチリド、それらの製造方法並びに光開始剤としての使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-271624 Applicant：アラン・ヴァレー, ミシュル・アルマン, グザヴィエ・オリヴラン, クリストフ・ミショト
ポリイオン性ポリマー化合物、その製造方法及び光開始剤としての使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-271212 Applicant：アラン・ヴァレー, ミシュル・アルマン, グザヴィエ・オリヴラン, クリストフ・ミショト
架橋性官能基を含有するポリオルガノシロキサンを基とする組成物及び抗付着性コーティングの製造のためのその使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-086938 Applicant：ローヌ-プーラン・シミ

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