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J-GLOBAL ID：200903063823911871

走査型プローブ顕微鏡検査法用の力感知プローブ

Inventor： リンゼー,スチュアート・エム ,  ジング,ティアンウェイ
Applicant, Patent owner： モレキュラー・イメージング・コーポレーション ,  アリゾナ・ボード・オブ・リージェンツ
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000549903
Publication number (International publication number)：2002515592
Application date： May. 17, 1999
Publication date： May. 28, 2002
Summary：

【要約】走査型プローブ顕微鏡にて使用される力感知プローブが提供され且つかかるプローブ11を磁気歪み性材料10から成る膜にて被覆する方法が提供される。該プローブ11は、プローブに対し任意の方向に方向決めすることのできる磁界内に該プローブを配置することにより磁化可能である。磁気歪み効果は、磁気膜を圧縮し又は拡張し、印加された磁界の強度によりその長さを変化させる。このことは、一方、好ましい実施の形態において、カンチレバー11の形態であるプローブ及び付与された磁気膜を撓み又は曲げる。その後のプローブの動きは、磁力を直接付与する場合の動作よりも遥かに大きく、また、その効果は印加された磁界の方向に対し敏感ではない。

Claim (excerpt)：

表面又は表面間の性質を感知する力感知プローブにおいて、プローブと、該プローブ上に設けられた磁気歪み性材料を含む膜とを備える、力感知プローブ。

IPC (3)：

G01N 13/16 ,  G01B 7/34 ,  G12B 21/08

FI (3)：

G01N 13/16 C ,  G01B 7/34 ,  G12B 1/00 601 D

F-Term (7)：

2F063AA43 ,  2F063CA29 ,  2F063EA16 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063GA56 ,  2F063GA79

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 電気信号変位変換装置、当該変換装置を用いた機器、および当該変換装置を用いた流体搬送装置の駆動方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-280094   Applicant：オムロン株式会社
• 特開昭60-227402
  
• 磁歪素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-171556   Applicant：アルプス電気株式会社
• 特開昭60-227402
  
• 特開昭60-227402