露光装置及びこれを用いたデバイス生産方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸島儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995167376
Publication number (International publication number)：1997017718
Application date： Jul. 03, 1995
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：

【要約】【目的】高精度なデバイスを低コストで生産することができる露光装置の提供。【構成】回路パターンを表示する透過型液晶ディスプレイ2と、搭載するウエハ4とディスプレイ2とを相対的に移動させるウエハステージ9と、ディスプレイ2に表示されたパターンをウエハ4に投影結像する投影結像光学系3と、ディスプレイ2とウエハ4との相対的な移動に同期してディスプレイ2に表示するパターンを変化させる表示制御装置6とを有する。

Claim (excerpt)：

パターンを表示する表示手段と、ウエハを搭載して該ウエハと該表示手段とを相対的に移動させるステージと、該表示手段に表示されたパターンをウエハに投影する投影手段と、前記表示手段とウエハとの相対的な移動に同期して前記表示手段に表示するパターンを変化させる手段とを有することを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G02F 1/13 505 , G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 519 , G02F 1/13 505 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 518

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

パターニング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-211733 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
大面積光源用の光変調器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-152079 Applicant：クレオプロダクツインコーポレイテッド
露光方法及び露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-218910 Applicant：株式会社ニコン

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