電子線装置における自動軸調整方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007209905
Publication number (International publication number)：2008112718
Application date： Aug. 10, 2007
Publication date： May. 15, 2008
Summary：

【課題】本発明は収差補正装置の軸調整を大まかに行なう。【解決手段】収差補正装置40の初段電極に複数の電圧値を印加し、その都度、収差補正装置40における基準軌道がその中心を通過する段の電極に異なった大きさの電圧値を印加したそれぞれの時に、走査偏向器28により電子線21で試料16上を走査して走査画像信号を得、各走査画像信号に基づいて画像の位置ずれ量を算出し、算出した各位置ずれ量と初段電極に供給する各電圧値に基づいて最適電圧値を算出して、収差補正装置40の初段電極にフィードバックさせる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

電子線を発生する電子線源、該電子線源からの電子線を集束する集束レンズ、前記電子線を試料上に集束させる対物レンズ、前記電子線で試料上を走査させる偏向レンズ、電界型若しくは磁界型の多極子レンズと、電磁界複合型の多極子レンズとを組み合わせて複数段成し、前記電子線の収差を補正するための収差補正手段、前記各レンズに電気信号を供給する制御電源、前記走査により前記試料から発生した電子を検出する検出手段、該検出手段からの出力信号を走査画像データとして記憶する記憶手段、前記走査画像データに基づく画像の位置ずれを算出する位置ずれ算出手段、及び、該算出された位置ずれに基づいて前記収差補正装置おける電子線の軌道が基準軌道に一致する様な最適電気信号値を算出し、該算出値に基づく電気信号が前記収差補正手段の第1段目の多極子レンズに供給される様に前記制御電源に指令を送る制御手段を備え、前記第1段目の多極子レンズに互いに異なった複数の電気信号を順次供給する度に、前記基準軌道がその中心を通過する段の多極子レンズに異なった強度の電気信号を供給したそれぞれの時に得られた走査画像データから画像の位置ずれを算出し、前記第1段目の多極子レンズに供給される各電気信号と前記算出された各位置ずれに基づいて最適電気信号値を算出し、該最適電気信号値を前記第1段目の多極子レンズに供給する様にした電子線装置における自動軸調整方法。

IPC (2)：

H01J 37/153 , H01J 37/04

FI (2)：

H01J37/153 B , H01J37/04 B

F-Term (3)：

5C030AA06 , 5C030AB02 , 5C033JJ07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

収差補正装置を備えた荷電粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-354335 Applicant：日本電子株式会社

Return to Previous Page