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J-GLOBAL ID：200903064325630470

微小領域走査装置および走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
江川 明

About 江川 明

, 
本間 克則

About 本間 克則


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000119754
Publication number (International publication number)：2001305036
Application date： Apr. 20, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：
【要約】【課題】 SPMで用いられる、高速、高分解能の微小領域走査装置を提供すること。【解決手段】 微小領域走査装置は、下段には共振周波数が低く、最大変位量の大きな粗動用円筒型圧電素子1が組み込まれ、試料台4を大きくXYZ方向に駆動することが可能となる。また、粗動用円筒型圧電素子1に取り付けられた支持具3の上に、最大変位量が小さく、共振周波数が高い、微動用円筒型圧電素子2が組み付けられており、この圧電素子により微小領域をすばやく走査することが可能となる。この微動円筒型圧電素子2による微小領域の高速走査と、粗動用円筒型圧電素子1の高速走査領域の位置調整により、試料3を高速に、かつ高分解能に走査することが可能となる。
Claim (excerpt)：
走査対象物をX、Yそれぞれの方向に走査可能な微小領域走査装置において、広い領域を駆動可能な低共振特性圧電素子と、狭い領域を高速に駆動可能な高共振特性圧電素子から成り、かつまた広い領域を駆動可能な低共振特性圧電素子による走査と、狭い領域を高速に駆動可能な高共振特性圧電素子による狭い領域の走査を組み合わせる圧電素子制御手段を有すること、を特徴とする微小領域走査装置。
IPC (4)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/083
FI (6)：
G01N 13/10 C ,  G01N 13/10 B ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 N
F-Term (15)：
2F069AA04 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069DD19 ,  2F069DD20 ,  2F069GG04 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069MM38 ,  2F069RR03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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