位置検出方法及び装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995014870
Publication number (International publication number)：1996213300
Application date： Feb. 01, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】格子状マークの光学的な非対称性による位置検出誤差を低減する。【構成】格子マークの照明ビームを多波長化し、マークから発生する回折光の各波長毎の干渉光を個別に光電検出して、各波長毎にマーク位置を求めた後、各マーク位置を干渉光の各波長毎の振幅に応じた重みで加重平均することで非対称性の影響を低減する。

Claim (excerpt)：

それぞれ所定の周期を有する第1回折格子部材と第2回折格子部材との周期方向に関する相対的な位置関係を検出する方法において、a.互いに異なる第1波長と第2波長とを含む照明ビームを前記第1回折格子部材に照射し、前記第1波長による複数の第1回折ビームと前記第2波長による複数の第2回折ビームとを発生させる段階と;b.光学的な共役関係を持つ光学系を介して前記複数の第1回折ビームと前記複数の第2回折ビームとを前記第2回折格子部材上に重畳照射することにより、前記第2回折格子部材から複数の再回折ビームを発生させる段階と;c.前記複数の再回折ビームのうち、前記第1回折格子部材と第2回折格子部材との相対的な位置関係の情報を含む特定の再回折ビームを光電検出し、該特定の再回折ビームに含まれる前記第1波長の成分に応じた第1光電信号と前記第2波長の成分に応じた第2光電信号とを出力する段階と;d.前記第1光電信号に基づいて前記位置関係を表す第1の位置誤差量を算出し、前記第2光電信号に基づいて前記位置関係を表す第2の位置誤差量を算出する段階と;e.前記第1光電信号と第2光電信号の各強度に応じて重みを変えて前記第1の位置誤差量と第2の位置誤差量とを加重平均して、前記第1回折格子部材と第2回折格子部材との相対的な位置関係を確定する段階とを含むことを特徴とする位置検出方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/30

FI (2)：

H01L 21/30 522 D , H01L 21/30 506 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

位置合せ方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-036959 Applicant：株式会社ソルテック
位置検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-131736 Applicant：株式会社ニコン
特開昭60-249325

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