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J-GLOBAL ID:200903064465719609

ファンフィルターユニット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004103797
Publication number (International publication number):2005291016
Application date: Mar. 31, 2004
Publication date: Oct. 20, 2005
Summary:
【課題】ファンフィルターユニット内に設けた送風ファンと空気導入口に設けたオリフィスとの間隙を小さくし還流を防ぐことで、流路での損失を少なくし、還流による乱流から発生する騒音を低減することができ、また、流路を形成するための構成部品点数を抑え、かつ流路構成が容易になることで、コスト増加を抑え開発期間の短縮することができるファンフィルターユニットを提供することを目的とする。【解決手段】主板2と側板3と複数のブレード4で形成された送風ファン5をチャンバー内1に有し、前記チャンバー1の一方には空気導入口7に設けたオリフィス8を、他方にはフィルター9と吹出口10を設け、前記送風ファン5とオリフィス8の間隙を小さくするため、オリフィス8の内側に円周状の凸部を設けることで、高効率で低騒音のファンフィルターユニットが得られる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
主板と側板と複数のブレードで形成された送風ファンと、この送風ファンを回転させるモーターをチャンバー内に有し、前記オリフィスの内側に一つの円周状の凸部を形成したファンフィルターユニット。
IPC (6):
F04D29/16 ,  B01D46/00 ,  F04D17/16 ,  F04D29/28 ,  F04D29/44 ,  F04D29/66
FI (7):
F04D29/16 ,  B01D46/00 F ,  F04D17/16 ,  F04D29/28 C ,  F04D29/44 P ,  F04D29/44 Y ,  F04D29/66 J
F-Term (35):
3H022AA02 ,  3H022BA01 ,  3H022BA02 ,  3H022BA04 ,  3H022BA06 ,  3H022CA34 ,  3H022DA11 ,  3H033AA02 ,  3H033BB06 ,  3H033BB20 ,  3H033CC01 ,  3H033CC03 ,  3H033CC04 ,  3H033DD09 ,  3H033EE06 ,  3H033EE08 ,  3H033EE13 ,  3H034AA02 ,  3H034BB02 ,  3H034BB06 ,  3H034BB20 ,  3H034CC01 ,  3H034CC03 ,  3H034CC04 ,  3H034DD02 ,  3H034EE06 ,  3H034EE08 ,  3H034EE13 ,  4D058JA14 ,  4D058QA01 ,  4D058QA17 ,  4D058QA21 ,  4D058SA20 ,  4D058UA18 ,  4D058UA25
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • フィルタ-ユニット
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-221393   Applicant:株式会社日立製作所, 日立テクノエンジニアリング株式会社
Cited by examiner (2)
  • 電動送風機
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-022270   Applicant:松下電器産業株式会社
  • 遠心ファン
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2002-257526   Applicant:日本サーボ株式会社

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