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J-GLOBAL ID：200903064483997276
プラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 秀夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995130941
Publication number (International publication number)：1996290517
Application date： Apr. 20, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ガスバリヤ性の優れた包装材料を製造する方法を提供する。【構成】 珪素酸化物薄膜の製膜温度よりT.G.が高いプラスチックスシートからなる包装材料の一面に対向して被覆面との距離が10mm以下でほぼ一定である高周波電極を設置し、またシートの他の面に対向して被覆面との距離が高周波電極と被覆面の距離より大きくほぼ一定であるアース電極をシートを介して高周波電極に対向して配置して、CVD法により生成した珪素酸化物のプラズマをシートと電極の間に導入して放電ガス圧0.0005〜0.05torrでシート表面に均一の膜厚に付着させることを特徴とするプラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法である。
Claim (excerpt)：
珪素酸化物薄膜の製膜温度よりT.G.が高いプラスチックスシートからなる包装材料の一面に対向して被覆面との距離が10mm以下でほぼ一定である高周波電極を設置し、またシートの他の面に対向して被覆面との距離が高周波電極と被覆面の距離より大きくほぼ一定であるアース電極をシートを介して高周波電極に対向して配置して、CVD法により生成した珪素酸化物のプラズマをシートと電極の間に導入して放電ガス圧0.0005〜0.05torrでシート表面に均一の膜厚に付着させることを特徴とするプラスチックスシートからなる包装材料にガス遮断性に優れた珪素酸化物薄膜を被覆する方法。
IPC (7)：
B32B 9/00
, B32B 7/02 105
, B32B 27/06
, B65D 65/40
, C08J 7/04
, C08J 7/06
, C23C 16/50
B32B 9/00 A
, B32B 7/02 105
, B32B 27/06
, B65D 65/40 D
, C08J 7/04 P
, C08J 7/06 Z
, C23C 16/50
