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J-GLOBAL ID：200903064547429188

窒化チタン薄膜

Inventor： 佐藤 守 ,  藤井 兼栄 ,  堀野 裕治 ,  木内 正人 ,  茶谷原 昭義 ,  長坂 浩志
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社荏原製作所
Agent (2)： 萩野 平 (外4名) ,  萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032894
Publication number (International publication number)：1993193916
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高硬度で耐摩耗性が大きい、新らしい結晶構造を有する窒化チタン薄膜を得ること。【構成】 格子定数が0.414nmから0.422nmの範囲にある面心立方晶構造のTiNの結晶粒子を含有することを特徴とする窒化チタン薄膜。

Claim (excerpt)：

格子定数が0.414nmから0.422nmの範囲にある面心立方晶構造をしたTiNの結晶粒子を含有することを特徴とする窒化チタン薄膜。

IPC (2)：

C01B 21/076 ,  C23C 14/06