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J-GLOBAL ID：200903064567237536

窒化アルミニウム焼結体用接合剤、それを用いる窒化アルミニウム焼結体の接合方法、並びにそれを用いるプレートヒータ及び静電チャックの製造方法

Inventor：
村松 滋子

About 村松 滋子

, 
青沼 伸一朗

About 青沼 伸一朗


Applicant, Patent owner：
東芝セラミックス株式会社

About 東芝セラミックス株式会社


Agent (1)： 高 雄次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999043813
Publication number (International publication number)：2000239074
Application date： Feb. 22, 1999
Publication date： Sep. 05, 2000
Summary：
【要約】【課題】 粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体同士の接合に際し、AlN焼結体に変形を生じないAlN焼結体用接合剤を提供する。【解決手段】 粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体同士を接合するものであって、AlN粉末100重量部、Y2 O3 換算でY化合物粉末0.5〜30重量部、及びLi2 O換算でLi化合物粉末が上記Y2 O3 換算量に対して外率で0.1〜100wt%の混合粉末からなる。
Claim (excerpt)：
粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相の窒化アルミニウム焼結体同士を接合するものであって、窒化アルミニウム粉末100重量部、イットリア換算でイットリウム化合物粉末0.5〜30重量部、及び酸化リチウム換算でリチウム化合物粉末が上記イットリア換算量に対して外率で0.1〜100wt%の混合粉末からなることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体用接合剤。
IPC (4)：
C04B 37/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/20 393
FI (4)：
C04B 37/00 A ,  H01L 21/68 R ,  H05B 3/20 393 ,  H01L 21/302 B
F-Term (32)：
3K034AA02 ,  3K034AA10 ,  3K034AA20 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC03 ,  3K034BC04 ,  3K034BC16 ,  3K034CA02 ,  3K034CA22 ,  3K034CA27 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  4G026BA16 ,  4G026BB16 ,  4G026BF04 ,  4G026BF06 ,  4G026BF43 ,  4G026BF44 ,  4G026BG05 ,  4G026BG23 ,  4G026BG26 ,  4G026BH06 ,  5F004AA01 ,  5F004BB22 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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