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J-GLOBAL ID：200903064626272812

感光性ペーストおよびそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法

Inventor： 堀内 健 ,  正木 孝樹 ,  井口 雄一朗
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997200397
Publication number (International publication number)：1999044949
Application date： Jul. 25, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストとそれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該ペーストを基板上に塗布・乾燥後、露光した塗布膜の最下部での光硬化度を60%以上とする。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、該ペーストを基板上に塗布・乾燥後、露光した塗布膜の最下部での光硬化度が60%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (9)：

G03F 7/004 501 ,  C03C 3/064 ,  C03C 4/04 ,  C03C 8/16 ,  C09D 4/02 ,  C09D 5/00 ,  C09D 7/12 ,  G03F 7/027 502 ,  H01J 9/02

FI (9)：

G03F 7/004 501 ,  C03C 3/064 ,  C03C 4/04 ,  C03C 8/16 ,  C09D 4/02 ,  C09D 5/00 C ,  C09D 7/12 Z ,  G03F 7/027 502 ,  H01J 9/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-321794   Applicant：東レ株式会社
• 感光性絶縁ガラスペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-187208   Applicant：東レ株式会社