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J-GLOBAL ID：200903064843847971

真空蒸着用蒸着材料収納容器及び真空蒸着装置、並びに真空蒸着装置への蒸着材料供給方法

Inventor： 高木 俊宜 ,  臼井 博明 ,  中村 宏毅 ,  川口 晴彦
Applicant, Patent owner： クラスターイオンビームテクノロジー株式会社 ,  ロック技研工業株式会社
Agent (1)： 藤本 昇 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001282934
Publication number (International publication number)：2003089865
Application date： Sep. 18, 2001
Publication date： Mar. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】 真空蒸着において良質な蒸着膜を得るために、坩堝に充填する蒸着材料中の空気や不純物を除去するとともに、真空蒸発装置の蒸発室の真空を維持した状態で、前記脱気された蒸着材料を蒸発室内に備えられた坩堝に供給可能な真空蒸着用蒸着材料容器及び真空蒸着装置、並びに蒸着材料供給方法を提供することを課題とする。【解決手段】 収納容器内および収納される蒸着材料から空気等の気体を抜き取るための脱気口及び脱気用弁と、気体を抜き取りながら蒸着材料を収納容器内に充填するための充填口及び充填弁と、収納容器内に充填された蒸着材料を排出するための供給口及び供給用弁を具備する収納容器と、該収納容器が接続可能な密閉の一時保管容器、及び収納容器を接続可能で、蒸発室内に配置された坩堝に連通された蒸着材料供給部を具備する真空蒸着装置により構成するものである。

Claim (excerpt)：

真空蒸着装置での真空蒸着処理に使用される固体状の蒸着材料を収納する収納容器であって、収納容器内および収納される蒸着材料から空気等の気体を抜き取るための脱気口及び脱気経路と、脱気経路を開閉する脱気用弁と、蒸着材料を容器内に充填するための充填口及び充填経路と、充填経路を開閉する充填用弁と、容器内に充填された蒸着材料を真空蒸着装置の蒸発室内の坩堝に供給するための供給口及び供給経路と、供給経路を開閉する供給用弁とを有し、該収納容器の充填口は別設の一時保管容器を接続可能に構成してなり、一時保管容器から収納容器に蒸着材料を移し変える過程で、大気の混入を防止すると共に、双方の容器内及び蒸着材料の集合に含まれる空気等の気体を脱気して真空化が可能なことを特徴とする収納容器。

F-Term (5)：

4K029BA46 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029DB10 ,  4K029DB15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 原料供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-340955   Applicant：レーザー濃縮技術研究組合, 三菱重工業株式会社