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J-GLOBAL ID：200903064848215647

照明光学装置

Inventor：
山元 規彰

About 山元 規彰

, 
森 孝司

About 森 孝司


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994051490
Publication number (International publication number)：1995263312
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 断面形状が例えば円形状の光束を供給する光源を用いて被照射面上の長方形状又は円弧状等の照明領域を、高い照度分布均一性で、且つ高い照明効率で照明する。【構成】 光源11からの光束を楕円鏡12で集光した後、コリメータレンズ13を介して平行光束に変換して断面形状が正方形状のオプティカル・インテグレータ2に供給する。オプティカル・インテグレータ2からの光束をリレー光学系3を介してオプティカル・インテグレータ4に供給し、これからの光束をリレー光学系5を介してオプティカル・インテグレータ6に供給し、これからの光束をコンデンサー光学系7を介して長方形状の照明領域8aに照射する。
Claim (excerpt)：
所定形状の光束断面を有する光を供給する光源系と、該光源系からの光束よりほぼ正方形状又はほぼ円形状に配列される複数の光源像を形成する第1多光源像形成手段と、該第1多光源像形成手段からの光束より、ほぼ長方形状又はほぼ直線状に配列される複数の光源像を形成する第2多光源像形成手段と、前記第2多光源像形成手段からの光束よりほぼ正方形状又はほぼ円形状に配列される複数の光源像を形成する第3多光源像形成手段と、該第3多光源像形成手段複数からの光束を集光して被照射面を照明するコンデンサー光学系と、前記第1及び第2多光源像形成手段の間に配置されて前記第1多光源像形成手段により形成される光源像の位置と前記第2多光源像形成手段により形成される光源像の位置とを共役にするための第1リレー光学系と、前記第2及び第3多光源像形成手段の間に配置されて前記第2多光源像形成手段により形成される光源像の位置と前記第3多光源像形成手段により形成される光源像の位置とを共役にするための第2リレー光学系と、を有することを特徴とする照明光学装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521
FI (2)：
H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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