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J-GLOBAL ID：200903064880768445

表面検査方法

Inventor：
川嶋 聡

About 川嶋 聡


Applicant, Patent owner：
株式会社山武

About 株式会社山武


Agent (1)： 堀 進 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000395926
Publication number (International publication number)：2002195958
Application date： Dec. 26, 2000
Publication date： Jul. 10, 2002
Summary：
【要約】【課題】 輝度値に多くのバラツキがある検査対象であっても、誤判定がなく高精度の検査ができる表面検査方法を提供する。【解決手段】 表面検査方法は、予め良品と判定された複数の対象物の表面の輝度値を全ての検査単位について測定し、検査単位毎の輝度値のバラツキを算出するステップと、算出されたバラツキの度合に応じて検査対象の良否判定基準を検査単位毎に決定するステップと、検査対象の表面の輝度値を全ての検査単位について測定し、決定された良否判定基準に基づき検査対象の良否判定を行うステップとを有することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
予め良品と判定された複数の対象物の表面の輝度値を全ての検査単位について測定し、検査単位毎の輝度値のバラツキを算出するステップと、算出されたバラツキの度合に応じて検査対象の良否判定基準を検査単位毎に決定するステップと、検査対象の表面の輝度値を全ての検査単位について測定し、決定された良否判定基準に基づいて検査対象の良否判定を行うステップとを有することを特徴とする表面検査方法。
IPC (4)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 1/00
FI (4)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 305 D ,  G06T 1/00 305 A
F-Term (41)：
2F065AA00 ,  2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC00 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF26 ,  2F065FF41 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065SS04 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC14 ,  5B057DC23 ,  5B057DC33 ,  5B057DC40
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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