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J-GLOBAL ID：200903065071269264

反射防止コーティング組成物

Inventor： ロジャー エフ シンタ ,  ティモシー ジー アダムス ,  ジェイムズ マイケル モリ
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 佐伯 憲生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997188850
Publication number (International publication number)：1998204328
Application date： Jun. 11, 1997
Publication date： Aug. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、特に遠紫外用に反射防止組成物(ARC)として使用するのに適する新規の光吸収性架橋型組成物を提供する。【解決手段】 本発明の反射防止組成物は、概ね、架橋剤、及び反射された遠紫外露光照射光を効果的に吸収する新規のARC樹脂バインダーからなる組成物である。

Claim (excerpt)：

架橋剤、及び、キノリニル基、N、O若しくはSの環置換基を持つキノリニル誘導体、フェナントレニル基、アクリジン基、又は、アルキレンアントラセン基を含有してなる樹脂バインダーからなる、上塗りされたフォトレジスト組成物(overcoated photoresist composition)と共に使用するための反射防止組成物。

IPC (7)：

C09D 5/00 ,  C09D 7/12 ,  C09D133/14 ,  C09D201/02 ,  G02B 1/11 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/027

FI (7)：

C09D 5/00 M ,  C09D 7/12 Z ,  C09D133/14 ,  C09D201/02 ,  G03F 7/11 503 ,  G02B 1/10 A ,  H01L 21/30 574

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ハレーション止め組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-328816   Applicant：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
• 特開平3-087746