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J-GLOBAL ID：200903065108775068

複合酸化物薄膜の製造方法

Inventor： 永仮 尚謙 ,  西岡 尉彦
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996077852
Publication number (International publication number)：1997268059
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】分子レベルでの組成の不均一が生じ、ペロブスカイト結晶の生成が不十分となるという問題があり、薄膜を低温で合成することは困難であった。【解決手段】Mg化合物とW化合物により、アルカリ土類金属化合物の共存下においても安定に存在するMgW複合アルコキシドを合成した後、該MgW複合アルコキシドとアルカリ土類金属化合物を混合して塗布溶液を合成し、該塗布溶液を基板表面に塗布して焼成する方法であり、例えば、カルボン酸塩であるMg化合物と、W化合物との還流操作により、あるいは、アルコキシドであるMg化合物とW化合物によりMgW複合アルコキシドを合成し、この後安定化処理を行い、アルカリ土類金属化合物の共存下においても安定に存在するMgW複合アルコキシドを合成する方法である。

Claim (excerpt)：

アルカリ土類金属、MgおよびWからなる複合ペロブスカイト型結晶相を主として含有する複合酸化物薄膜の製造方法であって、Mg化合物とW化合物によりMgW複合アルコキシドを合成した後、該MgW複合アルコキシドとアルカリ土類金属化合物を混合して塗布溶液を合成し、該塗布溶液を基板表面に塗布して焼成することを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法。

IPC (6)：

C04B 35/495 ,  C01B 13/32 ,  C01G 41/00 ,  H01B 13/00 ,  H01G 4/12 400 ,  H01P 7/10

FI (6)：

C04B 35/00 J ,  C01B 13/32 ,  C01G 41/00 A ,  H01B 13/00 F ,  H01G 4/12 400 ,  H01P 7/10